(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210610216.4 (22)申请日 2022.05.31 (71)申请人 扬州赛诺高德电子科技有限公司 地址 225600 江苏省扬州市高邮经济开发 区波司登大道南侧3号 (72)发明人 王文涛　张亮旗　王世权　张帆　 (74)专利代理 机构 广东科言知识产权代理事务 所(普通合伙) 44671 专利代理师 卢斌 (51)Int.Cl. C23F 1/08(2006.01) B08B 1/00(2006.01) (54)发明名称 一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应 用于该装置的蚀刻方法 (57)摘要 本发明涉及蚀刻加工技术领域， 具体涉及一 种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应用于该 装置的蚀刻方法， 该加工装置包括输送机构、 喷 头组件、 刷头组件、 用于驱动刷头组件进行三轴 移动的三轴驱动机构， 所述输送机构用于输送工 件， 所述喷头组件用于对位于输送机构上的工件 喷涂蚀刻液， 所述刷头组件用于对喷涂蚀刻液后 的工件进行蚀刻残渣清理。 本发 明的目的在于提 供一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及应用 于该装置的蚀刻方法， 能有效去除金属蚀刻过程 中产生的时刻残渣， 增 加蚀刻效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 114836756 A 2022.08.02 CN 114836756 A 1.一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置， 其特征在于： 包括输送机构、 喷头组件、 刷头 组件、 用于驱动刷头组件进 行三轴移动的三轴驱动机构， 所述输送机构用于输送工件， 所述 喷头组件用于对位于输送机构上的工件喷涂蚀刻液， 所述刷头组件用于对喷涂 蚀刻液后的 工件进行蚀刻残渣清理。 2.根据权利要求1所述的一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置， 其特征在于： 所述刷头 组件包括刷柄、 阵列设置于刷柄底端的防脱槽以及设置于防脱槽的多根刷 毛， 所述刷柄与 三轴驱动机构的输出端连接 。 3.根据权利要求2所述的一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置， 其特征在于： 所述刷毛 为塑料丝、 金属丝、 棕毛或动物毛中的一种。 4.根据权利要求1所述的一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置， 其特征在于： 所述三轴 驱动机构为 三轴机械手。 5.根据权利要求1所述的一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置， 其特征在于： 所述喷头 组件位于 输送机构的上 方。 6.一种蚀刻方法， 应用于如权利要求1 ‑5任一项所示的可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装 置， 其特征在于： 包括以下步骤： S1： 对待蚀刻工件进行清洁预处 理； S2： 在待蚀刻工件表面覆盖一层抗蚀刻 层； S3： 转移待蚀刻工件至输送机构， 输送机构将待蚀刻工件输送至相应位置， 由喷头组件 对待蚀刻工件喷涂蚀刻液； S4： 三轴驱动机构驱动刷头组件 对该工件清洗蚀刻区域； S5： 重复步骤S3、 S4， 直至 完成蚀刻； S6： 除去抗蚀刻 层， 获得最终成品。 7.根据权利要求6所述一种蚀刻方法， 其特征在于： 所述步骤S1中的清洁预处理包括除 油、 水洗、 干燥中的一种或多种。 8.根据权利要求6所述一种蚀刻方法， 其特征在于： 还包括步骤S7： 对最终成品进行清 洗及抛光处 理。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114836756 A 2一种可清除蚀刻残 渣的蚀刻加工装 置及应用于该装 置的蚀刻 方法 技术领域 [0001]本发明涉及蚀刻加工技术领域， 具体涉及 一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置及 应用于该装置的蚀刻方法。 背景技术 [0002]目前金属蚀刻加工是指通过化学反应或物理撞击去除材料的技术， 广泛应用于不 锈钢、 铝及铝合金、 铜和半导体材料等的加工。 金属蚀刻加工过程中会产生大量的蚀刻残 渣， 现阶段蚀刻的残渣清洗， 均安排在金属刻蚀完成之后， 蚀刻过程中蚀刻液与金属化学反 应产生的蚀刻残渣不能及时清理， 影响蚀刻液与金属间的进一 步反应， 进 而影响蚀刻效率。 发明内容 [0003]为了克服现有技术中存在的缺点和不足， 本发明的目的在于提供一种可清除蚀刻 残渣的蚀刻加工装置及应用于该装置的蚀刻方法， 能有效去除金属蚀刻过程中产生的时刻 残渣， 增加蚀刻效率。 [0004]本发明是通过以下技 术方案实现的： [0005]一种可清除蚀刻残渣的蚀刻加工装置， 包括输送机构、 喷头组件、 刷头组件、 用于 驱动刷头组件进行三轴移动的三轴驱动机构， 所述输送机构用于输送工件， 所述喷头组件 用于对位于输送机构上的工件喷涂 蚀刻液， 所述刷头组件用于对喷涂 蚀刻液后的工件进 行 蚀刻残渣清理。 [0006]其中， 所述刷头组件包括刷柄、 阵列设置于刷柄底端的防脱槽以及设置于防脱槽 的多根刷毛， 所述刷柄与三轴驱动机构的输出端连接 。 [0007]其中， 所述刷毛为塑料丝、 金属丝、 棕毛或动物毛中的一种。 [0008]其中， 所述 三轴驱动机构为 三轴机械手。 [0009]其中， 所述喷头组件位于 输送机构的上 方。 [0010]本发明还公开了一种应用于该装置的蚀刻方法， 该 方法包括以下步骤： [0011]S1： 对待蚀刻工件进行清洁预处理， 所述清洁预处理包括除油、 水洗、 干燥中的一 种或多种； [0012]S2： 在待蚀刻工件表面覆盖一层抗蚀刻 层； [0013]S3： 转移待蚀刻 工件至输送机构， 输送机构将待 蚀刻工件输送至相应位置， 由喷头 组件对待蚀刻工件喷涂蚀刻液； [0014]S4： 三轴驱动机构驱动刷头组件 对该工件清洗蚀刻区域； [0015]S5： 重复步骤S3、 S4， 直至 完成蚀刻； [0016]S6： 除去抗蚀刻 层， 获得最终成品； [0017]S7： 对最终成品进行清洗及抛光处 理。 [0018]本发明的有益效果：说　明　书 1/3 页 3 CN 114836756 A 3