(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221073000.0 (22)申请日 2022.05.07 (73)专利权人 大连地拓电子 工程技术有限公司 地址 116000 辽宁省大连市高新 技术产业 园区广贤路133号赛伯乐大厦4层A 434 室 (72)发明人 马跃　高景作　赵小江　 (51)Int.Cl. F16F 15/027(2006.01) F16F 15/08(2006.01) (54)实用新型名称 一种刚度可调的超低频被动防微振基座 (57)摘要 本实用新型提供了一种刚度可调的超低频 被动防微振基座， 包括面板、 支架和支撑脚， 所述 面板底部安装有三排并列的垫块， 所述垫块底部 连接有支撑板， 所述支架上端和下端分别焊接有 上横梁和下横梁， 所述支撑板底部连接有支撑 杆， 所述支撑杆与上横 梁、 下横梁滑动连接， 所述 支撑杆底部焊接有底板， 所述上横梁中间部位安 装有欧拉杆， 所述欧拉杆中间部位安装有支撑 块， 所述支撑块底部连接有横板， 所述横板底部 中间位置连接有拉杆， 所述拉杆底部与底板连 接， 所述下横 梁顶部拉杆两侧分别安装有空气弹 簧。 本实用新型结构简单， 系统刚度、 高度可以调 整， 能够获得超低的系统固有频率， 适用范围广。 权利要求书1页 说明书2页 附图1页 CN 217633635 U 2022.10.21 CN 217633635 U 1.一种刚度可调的超低频被动防微振基座， 包括面板、 支架和支撑脚， 其特征在于， 所 述面板底部安装有三排并列的垫块， 所述垫块底部连接有支撑板， 所述支架上端和下端分 别焊接有 上横梁和下横梁， 所述支撑板底部连接有支撑杆， 所述支撑杆与上横梁、 下横梁滑 动连接， 所述支撑杆底部焊接有底板， 所述上横梁中间部位安装有欧拉杆， 所述欧拉杆中间 部位安装有支撑块， 所述支撑块底部连接有横 板， 所述横 板底部中间位置连接有拉杆， 所述 拉杆底部与底板连接， 所述下横梁顶部拉杆两侧分别安装有空气弹簧， 所述空气弹簧包括 气室， 所述气室顶部连接有活塞， 所述活塞内部连接有摆杆， 所述摆杆顶部与横板连接 。 2.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座， 其特征在于， 所述面 板、 支撑板均由不锈钢板制成矩形 结构。 3.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座， 其特征在于， 所述垫 块为橡胶垫块。 4.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座， 其特征在于， 所述支 撑脚安装在支 架底部， 所述支撑脚与支 架通过螺纹连接 。 5.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座， 其特征在于， 所述气 室与活塞之间连接有隔膜， 所述气室外侧底端连接有电磁阀。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217633635 U 2一种刚度可调的超 低频被动防微振基座 技术领域 [0001]本实用新型涉及隔振装置技术领域， 具体是一种刚度可调的超低频被动防微振基 座。 背景技术 [0002]目前半导体行业飞速发展， 半导体生产设备的精度要求越来越高， 设备对微振动 等环境的要求也越来越敏感， 少许的微振动就会降低设备 的产出良率， 甚至使设备不能正 常工作， 因此对微振动的隔离变得越来越重要。 [0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度 与超精密加工装备制 造精度的关键因素之一， 高性能精密 隔微振技术成为精密工程、 超精 密制造等领域的一项核心关键技术， 对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。 振 动控制部分是隔振平台的核心， 针对中高频振动， 多采用被动隔振， 被动隔振结构简单、 工 作可靠、 不依赖电源， 可以有效地隔绝中高频振动干扰。 针对低频甚至或超低频振动， 多采 用主动隔振， 气动主动隔振自适应性好， 通过作动器输出反向力抵消 低频振动， 具有优越的 低频或超低频隔振性能。 但是主动隔振装置结构复杂， 造价高， 如果一味地采用主动隔振装 置进行低频或超低频隔振， 在一些情况 下会造成资源或 成本浪费。 实用新型内容 [0004]实用新型的目的在于提供一种刚度可调的超低频被动防微振基座， 以解决上述背 景技术中存在的问题。 [0005]本实用新型的技 术方案是这样实现的： [0006]一种刚度可调的超低频被动防微振基座， 包括面板、 支架和支撑脚， 所述面板底部 安装有三排并列的垫块， 所述垫块底部连接有支撑板， 所述支架上端和下端分别焊接有上 横梁和下横梁， 所述支撑板底部连接有支撑杆， 所述支撑杆与上横梁、 下横梁滑动连接， 所 述支撑杆底部焊接有底板， 所述上横梁中间部位安装有欧拉杆， 所述欧拉杆中间部位安装 有支撑块， 所述支撑块底部连接有横板， 所述横板底部中间位置连接有拉杆， 所述拉杆底部 与底板连接， 所述下横梁顶部拉杆两侧分别安装有空气弹簧， 所述空气弹簧包括气室， 所述 气室顶部连接有活塞， 所述活塞内部连接有摆杆， 所述摆杆顶部与横板连接 。 [0007]进一步地， 所述面板、 支撑 板均由不锈钢板制成矩形 结构。 [0008]进一步地， 所述垫块 为橡胶垫块。 [0009]进一步地， 所述支撑脚安装在支 架底部， 所述支撑脚与支 架通过螺纹连接 。 [0010]进一步地， 所述气室与活塞之间连接有隔膜， 所述气室外侧底端连接有电磁阀。 [0011]本实用新型的有益效果 为： [0012]本实用新型通过空气弹簧、 摆杆和负刚度欧拉杆串联隔振， 极大降低了系统固有 频率， 系统固有频率能现实小于0.5Hz， 并通过电磁阀调整空气弹簧的气 压从而调整空气弹 簧的刚度， 并通过支撑脚调整基座高度， 可以适用于不同精密仪器的要求； 本实用新型结构说　明　书 1/2 页 3 CN 217633635 U 3