ICS31.200 L55 中华人民共和国国家标准 GB/T28274—2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则 Silicon-basedMEMSfabricationtechnology— Thebasicregulationoflayoutdesign 2012-05-11发布 2012-12-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、西北工业大学。本标准主要起草人:张大成、王玮、刘伟、杨芳、姜森林、崔波、熊斌、乔大勇。 ⅠGB/T28274—2012

GB-T 28274-2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则

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GB-T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

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