GB-T 26111-2010 微机电系统 MEMS 技术 术语

ICS 31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26111—2010 微机电系统（MEMS）技术术语 Micro-electromechanical system technology-Terms 2011-01-10发布 2011-10-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 GB/T 26111—2010 目次前言 II 1 范围规范性引用文件 2 3 术语和定义 3. 1 综合性术语 3.2 科学与工程术语 3. 3 与材料相关的术语 3. 4 与设计相关的术语 3.5 与加工工艺相关的术语 3.6 封装与组装术语 10 3.7 测量技术术语 13 3.8 与器件相关的术语 15 参考文献 22 索引 23 汉语拼音索引 23 英文对应词索引 27 GB/T 26111—2010 前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学。本标准主要起草人：丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。

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